8英寸晶圓拋光線是集硅片清洗、貼片、陶瓷盤傳送及存儲、硅片拋光、硅片和陶瓷盤分離及陶瓷盤清洗等工藝為一體的全自動化拋光設備。
該設備線可加工6-8英寸半導體硅片,自動化程度高,加工效率高,精度高。
浙公網安備 33060402000390號