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    長晶設備 8英寸區熔硅單晶爐

    FZ100D區熔爐是采用區熔法生長單晶硅的專用設備。該設備能實現抽真空,充正壓、熔料、引晶、放肩、等徑、收尾、停爐等過程自動控制。

    國家科技重大02專項課題——8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制,該設備生長出國內首根8英寸半導體級區熔硅單晶棒,設備已實現量產銷售。

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